[مدونة] الحد الأعلى من نصف قطر أداة حافة لنمط الدكتايل النانوي قطع رقاقة السيليكون January 31, 2019
وقد تم الإبلاغ عن [1-11] أن المواد الهشة ، مثل مادة رقاقة السيليكون ، يمكن تشكيلها في وضع الدكتايل تحت ظروف تكوين شريحة معينة. وتهيمن ظروف التشغيل هذه على ظروف الإجهاد في منطقة تكوين الرقاقة ، والتي يمكن أن تتولد من هندسة معينة وظروف قطع معينة ، وهي سماكة الشريحة غير المُشَكلة إلى جانب نسبة سمك الشريحة غير المُشَكلة إلى نصف قطر حافة القطع.